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等離子技術

提高等離子的發生效率和功率，為小型化及工業應用做準備；紫外光源前期將面對科研的光譜和質譜用戶，后期將瞄準光刻等高端需求，離子源將作為工業化用途，完成對目前離子源技術的替代。

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